Artikel 1 - Elfte Verordnung zur Änderung der Abwasserverordnung (11. AbwVÄndV k.a.Abk.)

V. v. 20.01.2022 BGBl. I S. 87 (Nr. 3); Geltung ab 28.01.2022

Artikel 1 Änderung der Abwasserverordnung

Die Abwasserverordnung in der Fassung der Bekanntmachung vom 17. Juni 2004 (BGBl. I S. 1108, 2625), die zuletzt durch Artikel 1 der Verordnung vom 16. Juni 2020 (BGBl. I S. 1287) geändert worden ist, wird wie folgt geändert:

1. Anlage 1 (zu § 4 Absatz 1 Satz 1 und 2) - Analyse- und Messverfahren - wird wie folgt geändert:

a) In Teil I wird Nummer 5 wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„5	Konservierung und Handhabung von Wasserproben	DIN EN ISO 5667-3 (A21) (Ausgabe Juli 2019) Diese Norm gilt, soweit in der für das jeweilige Analysever- fahren maßgeblichen Norm nicht etwas Anderes festgelegt ist. Bei der Bestimmung der Parameter nach den Nummern 401 bis 404, 410 und 412 ist die Probe unverzüglich nach der Ent- nahme zu untersuchen. Eine Konservierung der Probe bis zu 48 Stunden ist durch sofortiges Kühlen auf eine Temperatur von 2 bis 5 °C im Dunkeln möglich. Ist eine längere Aufbewah- rung einer Probe erforderlich, ist die Probe unverzüglich nach ihrer Entnahme einzufrieren und bei einer Temperatur von -18 °C oder tiefer für die Dauer von bis zu zwei Monaten zu konservieren."

b) Teil II wird wie folgt geändert:

aa) Die Nummern 103 und 104 werden wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„103	Cyanid, leicht freisetzbar	DIN 38405-D13-2 (D13) (Ausgabe Februar 1981) mit folgender Maßgabe: bei Konservierung Zugabe von NaOH bis zu einem pH-Wert > 12; Probe im Dunkeln lagern oder dunkle Flaschen verwenden, DIN EN ISO 14403-1 (D2) (Ausgabe Oktober 2012) nach Maß- gabe der Nummer 506, DIN EN ISO 14403-2 (D3) (Ausgabe Oktober 2012) nach Maß- gabe der Nummer 506
104	Cyanid, gesamt, in der Original- probe	DIN 38405-D13-1 (D13) (Ausgabe Februar 1981) mit folgender Maßgabe: bei Konservierung Zugabe von NaOH bis zu einem pH-Wert > 12; Probe im Dunkeln lagern oder dunkle Flaschen verwenden, DIN EN ISO 14403-1 (D2) (Ausgabe Oktober 2012) nach Maß- gabe der Nummer 506, DIN EN ISO 14403-2 (D3) (Ausgabe Oktober 2012) nach Maß- gabe der Nummer 506".

bb) Die Nummern 106 bis 108 werden wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„106	Nitratstickstoff (NO3-N)	DIN EN ISO 10304-1 (D20) (Ausgabe Juli 2009) nach Maßgabe der Nummer 503, DIN 38405-9 (D9) (Ausgabe September 2011) nach Maßgabe der Nummer 503, DIN EN ISO 13395 (D28) (Ausgabe Dezember 1996), DIN ISO 15923-1 (D49) (Ausgabe Juli 2014) Für alle Verfahren gilt die Maßgabe der Nummer 507.
107	Nitritstickstoff (NO2-N)	DIN EN 26777 (D10) (Ausgabe April 1993), DIN EN ISO 10304-1 (D20) (Ausgabe Juli 2009), DIN EN ISO 13395 (D28) (Ausgabe Dezember 1996), DIN ISO 15923-1 (D49) (Ausgabe Juli 2014) Für alle Verfahren gilt die Maßgabe der Nummer 507.
108	Phosphor, gesamt, in der Originalprobe	DIN EN ISO 6878 (D11) (Ausgabe September 2004) mit folgen- der Maßgabe: Aufschluss gemäß Abschnitt 7.4 dieser Norm, DIN EN ISO 15681-2 (D46) (Ausgabe Mai 2019) mit folgender Maßgabe: Aufschluss gemäß Abschnitt 7.4 der DIN EN ISO 6878 (D11) (Ausgabe September 2004), DIN EN ISO 15681-1 (D45) (Ausgabe Mai 2005) mit folgender Maßgabe: Aufschluss gemäß Abschnitt 7.4 der DIN EN ISO 6878 (D11) (Ausgabe September 2004), DIN EN ISO 11885 (E22) (Ausgabe September 2009) mit folgen- der Maßgabe: Aufschluss gemäß DIN EN ISO 15587-2 (A32) (Ausgabe Juli 2002), DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017) mit folgen- der Maßgabe: Aufschluss gemäß DIN EN ISO 15587-2 (A32) (Ausgabe Juli 2002)".

cc) Nummer 111 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„111	Sulfid, leicht freisetzbar	DIN 38405-27 (D27) (Ausgabe Oktober 2017)".

dd) Nummer 202 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„202	Ammoniumstickstoff (NH4-N)	DIN EN ISO 11732 (E23) (Ausgabe Mai 2005), DIN 38406-E5-1 (E5) (Ausgabe Oktober 1983), DIN 38406-E5-2 (E5) (Ausgabe Oktober 1983), DIN ISO 15923-1 (D49) (Ausgabe Juli 2014) Für alle Verfahren gilt die Maßgabe der Nummer 507."

ee) Nach der Nummer 226 werden die folgenden Nummern 227 bis 237 eingefügt:

Nr.	Parameter	Verfahren
„227	Cer	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
228	Germanium	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
229	Gold	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
230	Hafnium	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
231	Molybdän	DIN EN ISO 11885 (E22) (Ausgabe September 2009) mit folgen- der Maßgabe: Aufschluss nach DIN EN ISO 15587-2 (A32) (Ausgabe Juli 2002), DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017) mit folgender Maßgabe: Aufschluss nach DIN EN ISO 15587-2 (A32) (Ausgabe Juli 2002)
232	Palladium	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
233	Praseodym	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
234	Ruthenium	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
235	Wolfram	DIN EN ISO 11885 (E22) (Ausgabe September 2009), DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
236	Zirkonium	DIN EN ISO 11885 (E22) (Ausgabe September 2009), DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)
237	Platin	DIN EN ISO 17294-2 (E29) (Ausgabe Januar 2017)".

ff) Nummer 305 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„305	Organisch gebundener Kohlen- stoff, gesamt (TOC), in der Originalprobe	DIN EN 1484 (H3) (Ausgabe April 2019), direkte TOC-Bestim- mung nach Abschnitt 8.3 dieser Norm und nach Maßgabe der Nummer 502".

gg) Nummer 313 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„313	Chlor, freies	DIN EN ISO 7393-2 (G4-2) (Ausgabe März 2019)".

hh) Die Nummern 334 und 335 werden wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„334	Benzol und Derivate in der Originalprobe	DIN 38407-43 (F43) (Ausgabe Oktober 2014) nach Maßgabe der Nummern 504 und 505, DIN EN ISO 15680 (F19) (Ausgabe April 2004) nach Maßgabe der Nummern 504 und 505
335	Organische Komplexbildner in der Originalprobe (EDTA, NTA, DTPA, MGDA, β-ADA, 1,3-PDTA)	DIN EN ISO 16588 (P10) (Ausgabe Februar 2004)".

ii) Nummer 337 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„337	Chlordioxid und andere Oxidantien, angegeben als Chlor	DIN 38408-5 (G5) (Ausgabe Juni 1990) mit folgender Maßgabe: Die nach Abschnitt 4 dieser Norm vorgesehenen Maßnahmen zur Störungsbehebung sind nicht durchzuführen. Alternativ zur Nutzung des Verfahrens DIN 38408-5 (G5) ohne Störungs- behebung kann die Bestimmung des Parameters 337 nach DIN EN ISO 7393-2 (G4-2) (Ausgabe März 2019) gemäß Para- meter 313 durchgeführt werden."

jj) Die Nummern 4 und 400 werden wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„4	Biologische Testverfahren Für die Verfahren nach den Nummern 401 bis 404, 410 und 412 ist Nummer 509 zu beachten. Die Anforderungen nach DIN EN ISO 5667-16 (L1) (Ausgabe März 2019) gelten nur, soweit in den Testverfahren keine abweichenden Regelungen getroffen werden.
400	Probenahme und Durchführung biologischer Testverfahren	DIN EN ISO 5667-16 (L1) (Ausgabe März 2019)".

kk) Nummer 409 wird wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„409	Biochemischer Sauerstoffbedarf in 5 Tagen in der Originalprobe	DIN EN ISO 5815-1 (H50) (Ausgabe November 2020)".

c) In Teil III werden die Nummern 506 bis 508 wie folgt gefasst:

Nr.	Parameter	Verfahren
„506	Hinweis zum Verfahren Cyanid, leicht freisetzbar und Cyanid, gesamt, in der Originalprobe (Num- mer 103 und 104): Die DIN EN ISO 14403-1 (D2) (Ausgabe Oktober 2012) und DIN EN ISO 14403-2 (D3) (Ausgabe Oktober 2012) sind nur zur Vorprüfung, ob die Abwasserprobe Cyanid über den unteren An- wendungsgrenzen dieser Normen enthält, anzuwenden. Liegt nach dem Ergebnis der Vor- prüfung der Cyanidgehalt der Abwasserprobe unter den unteren Anwendungsgrenzen dieser Normen, so kann auf die Anwendung der DIN 38405-D13-2 (D13) (Ausgabe Februar 1981) bzw. der DIN 38405-D13-1 (D13) (Ausgabe Februar 1981) verzichtet werden; andernfalls sind diese Normen anzuwenden.
507	Auf eine Vor-Ort-Filtration kann verzichtet werden, wenn die Proben sofort nach Eintreffen im Labor filtriert werden oder wenn sie innerhalb von 24 Stunden nach Probenahme bestimmt werden.
508	Nicht besetzt".

2. In Anhang 33 Teil A Absatz 1 werden die Wörter „und Mitverbrennung" gestrichen.

3. Nach Anhang 33 wird folgender Anhang 35 eingefügt:

„Anhang 35 Chipherstellung

A Anwendungsbereich

(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Chipherstellung stammt, einschließlich

1. der dazugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung,

2. der Maskenherstellung und der Teilereinigung, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist, und

3. des betriebsinternen Recyclings von Wafern, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist.

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus

1. indirekten Kühlsystemen,

2. der Aufbereitung von Betriebswasser, einschließlich Reinstwasser, sowie

3. der Herstellung von Silizium-Einkristallen und dem Vereinzeln der Einkristalle zu Wafern.

B Allgemeine Anforderungen

(1) Abwasseranfall und Schadstofffracht sind so gering zu halten, wie dies durch folgende Maßnahmen möglich ist:

1. Verlängerung der Nutzungsdauer von Prozesslösungen,

2. Minimierung des Spülwasserbedarfs durch

a) den Einsatz wassersparender Spültechniken wie

aa) Kaskadenspülung oder

bb) Kreislaufführung des Spülwassers über Ionenaustauscher,

b) Filtrationstechniken oder

c) andere Verfahren, die in ihrer Wirkung ähnlich sind,

3. Mehrfachnutzung geeigneter Spülwässer im Produktionsprozess oder Verwendung geeigneter Spülwässer in anderen Betriebsbereichen nach Aufbereitung durch Kreislaufführung über lonenaustauscher, durch Filtrationstechniken oder durch andere Verfahren, die in ihrer Wirkung ähnlich sind,

4. Rückgewinnung von Wertstoffen aus verbrauchten Prozesslösungen und aus geeigneten Abwasserteilströmen,

5. Getrennthaltung und -behandlung von Abwasserteilströmen, soweit eine stoffliche Verwertung der anfallenden Schlämme möglich ist und Anforderungen nach anderen Rechtsvorschriften dem nicht entgegenstehen,

6. Minimierung des Abwasseranfalls aus der Ablufterfassung und -behandlung,

7. Minimierung der Bildung adsorbierbarer organisch gebundener Halogene (AOX) durch

a) Einsatz von Salzsäure, die keine höhere Verunreinigung durch organische Halogenverbindungen aufweist, als nach DIN EN 939 (Ausgabe September 2016) zulässig ist,

b) Einsatz von Eisen- und Aluminiumsalzen bei der Abwasserbehandlung, die keine höhere Belastung mit organischen Halogenverbindungen aufweisen als 100 Milligramm, jeweils bezogen auf ein Kilogramm Eisen oder Aluminium in den eingesetzten Behandlungsmitteln, oder

c) Einsatz von cyanidfreien Prozesslösungen anstelle cyanidischer Prozesslösungen,

8. Verzicht auf den Einsatz von Fotoresistlacken für fotolithografische Prozesse, in denen per- oder polyfluorierte Verbindungen (PFC) enthalten sind; kann auf den Einsatz dieser Lacke nicht verzichtet werden, so sind die Einsatzmenge in der Produktion und die Schadstofffracht im Abwasser entsprechend den technischen Möglichkeiten zu reduzieren,

9. Verzicht auf den Einsatz von Organosulfiden in der Abwasserbehandlung; kann auf den Einsatz von Organosulfiden nicht verzichtet werden, so ist die Einsatzmenge zu minimieren und sind gegebenenfalls im Abwasser vorhandene Überschüsse vollständig zurückzuhalten durch Rückfällung mit Metallsalzen oder mit anderen geeigneten Mitteln.

(2) Die Einhaltung der Anforderungen nach Absatz 1 ist in einem betrieblichen Abwasserkataster nach Anlage 2 Nummer 1 zu dokumentieren.

C Anforderungen an das Abwasser für die Einleitungsstelle

An das Abwasser werden für die Einleitungsstelle in das Gewässer folgende Anforderungen gestellt:

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe
Aluminium	mg/l	2,0
Organisch gebundener Kohlenstoff, gesamt (TOC)	mg/l	20
Chemischer Sauerstoffbedarf (CSB)	mg/l	60
Biochemischer Sauerstoffbedarf in 5 Tagen (BSB5)	mg/l	15
Fluorid, gelöst	mg/l	30
Phosphor, gesamt	mg/l	1,0
Ammoniumstickstoff (NH4-N)	mg/l	10
Nitritstickstoff (NO2-N)	mg/l	2,0
Eisen	mg/l	3,0
Abfiltrierbare Stoffe (suspendierte Stoffe)	mg/l	15
Giftigkeit gegenüber Fischeiern (GEi)		2

D Anforderungen an das Abwasser vor Vermischung

An das Abwasser werden vor der Vermischung mit anderem Abwasser folgende Anforderungen gestellt:

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe* mg/l
Antimon	0,50
Adsorbierbare organisch gebundene Halogene (AOX)**	0,10
Arsen	0,20
Barium	3,0
Blei	0,50
Cer	0,50
Chrom, gesamt	0,20
Cobalt	1,0
Germanium	0,50
Gold	0,50
Hafnium	0,50
Kupfer	0,50
Molybdän	0,50
Nickel	0,50
Palladium	0,50
Platin	0,50
Praseodym	0,50
Ruthenium	0,50
Sulfid, leicht freisetzbar	1,0
Titan	1,0
Wolfram	2,0
Zink	2,0
Zinn	2,0
Zirkonium	0,50
* Bei Chargenanlagen beziehen sich alle Anforderungen auf die Stichprobe. ** Für AOX gilt der Wert in der Stichprobe.

E Anforderungen an das Abwasser für den Ort des Anfalls

(1) An das Abwasser werden für den Ort des Anfalls folgende Anforderungen gestellt:

	Stichprobe mg/l
Cadmium	0,050
Chrom VI	0,10
Cyanid, leicht freisetzbar	0,20
Selen	1,0
Silber	0,10
Thallium	0,50
Quecksilber	0,00050

(2) Im Abwasser dürfen keine organischen Komplexbildner enthalten sein, die einen DOC-Abbaugrad nach 28 Tagen von mindestens 80 Prozent nach Anlage 1 Nummer 406 nicht erreichen.

(3) Abweichend von § 2 Nummer 5 ist der Ort des Anfalls des Abwassers der Ablauf der Vorbehandlungsanlage für den jeweiligen Parameter.

F Anforderungen für vorhandene Einleitungen

Für vorhandene Einleitungen von Abwasser aus Anlagen, die vor dem 28. Januar 2022 rechtmäßig in Betrieb waren oder mit deren Bau zu diesem Zeitpunkt rechtmäßig begonnen worden ist, gelten die Anforderungen dieses Anhangs ab dem 1. Juli 2022. Bis zum Ablauf des 30. Juni 2022 gelten für Einleitungen nach Satz 1 die Anforderungen nach Anhang 54 in der am 27. Januar 2022 geltenden Fassung.

G Abfallrechtliche Anforderungen

Abfallrechtliche Anforderungen werden nicht gestellt.

H Betreiberpflichten

Sofern PFC-haltige Prozesschemikalien verwendet werden oder verwendet wurden, ist der Betreiber verpflichtet,

1. die Einsatzmengen der PFC-haltigen Prozesschemikalien im Betriebstagebuch nach Anlage 2 Nummer 2 Buchstabe e für jede Dosierstelle zu dokumentieren und

2. im behandelten Abwasser vor Einleitung PFC mindestens jährlich zu messen, sofern die Behörde nicht etwas Anderes festlegt."

4. Anhang 47 wird wie folgt gefasst:

„Anhang 47 Feuerungsanlagen

A Anwendungsbereich

(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus dem Betrieb von Feuerungsanlagen stammt.

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus

1. Kühlsystemen von Kraftwerken und industriellen Prozessen,

2. sonstigen Anfallstellen bei der Dampferzeugung und der Betriebswasseraufbereitung,

3. Anlagen, in denen ausschließlich Abfälle verbrannt werden, und

4. Feuerungsanlagen ohne nasse Rauchgaswäsche mit einer Feuerungswärmeleistung von weniger als 50 Megawatt.

(3) Die in Teil C Absatz 1 genannten Anforderungen mit Ausnahme der Anforderungen an den TOC und den CSB sowie die in Teil D genannten Anforderungen sind Emissionsgrenzwerte im Sinne von § 1 Absatz 2 Satz 1.

B Allgemeine Anforderungen

(1) Abwasseranfall und Schadstofffracht sind so gering zu halten, wie dies durch folgende Maßnahmen möglich ist:

1. Rückführung von Prozesswasser zur Mehrfachnutzung,

2. betriebliche Nutzung von behandlungsbedürftigem Niederschlagswasser,

3. Betrieb des Rauchgaswäschers mit betriebstechnisch maximal möglicher Chloridkonzentration mit dem Ziel, die Schwermetallfracht zu verringern,

4. Kühlung von Kesselasche durch Kreislaufführung des Kühlmediums Wasser oder durch Luftkühlung oder

5. Behandlung des Abwassers durch eine geeignete Kombination von Verfahren wie Fällung, Flockung, Neutralisation, Filtration, Ionenaustausch, Membranverfahren, Zugabe von Adsorbenzien oder anderen geeigneten Verfahren.

(2) Behandlungsbedürftiges Abwasser darf vor einer Behandlung nicht mit nichtbehandlungsbedürftigem Abwasser vermischt werden.

C Anforderungen an das Abwasser für die Einleitungsstelle

(1) An das Abwasser aus der Rauchgaswäsche werden für die Einleitungsstelle in das Gewässer folgende Anforderungen gestellt:

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe
Abfiltrierbare Stoffe	30 mg/l
Chemischer Sauerstoffbedarf (CSB)
- Einsatz von Branntkalk	80 mg/l
- Einsatz von Kalkstein	150 mg/l
Organisch gebundener Kohlenstoff, gesamt (TOC)
- Einsatz von Branntkalk	25 mg/l
- Einsatz von Kalkstein	50 mg/l
Sulfat	2.000 mg/l
Sulfit	10 mg/l
Fluorid, gelöst	15 mg/l
Giftigkeit gegenüber Fischeiern (GEi)	2

(2) In der wasserrechtlichen Zulassung kann die Schadstofffracht für CSB und TOC, die in dem Wasser bei der Entnahme aus einem Gewässer vorhanden war (Vorbelastung), berücksichtigt werden, soweit die entnommene Schadstofffracht bei der Einleitung in das Gewässer noch vorhanden ist.

(3) Abweichend von § 6 Absatz 1 Satz 1 dürfen die Werte für die Parameter nach Absatz 1 höchstens um 50 Prozent überschritten werden.

D Anforderungen an das Abwasser vor Vermischung

An das Abwasser aus der Rauchgaswäsche werden vor der Vermischung mit anderem Abwasser folgende Anforderungen gestellt:

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe mg/l
Arsen	0,050
Cadmium	0,0050
Quecksilber	0,0030
Chrom, gesamt	0,050
Nickel	0,050
Kupfer	0,050
Blei	0,020
Zink	0,20
Thallium	0,050
Sulfid, leicht freisetzbar	0,10

E Anforderungen an das Abwasser für den Ort des Anfalls

An das Abwasser werden für den Ort des Anfalls keine zusätzlichen Anforderungen gestellt.

F Anforderungen für vorhandene Einleitungen

Für vorhandene Einleitungen von Abwasser gilt die Anforderung nach Teil B Absatz 1 Nummer 4 nicht.

G Abfallrechtliche Anforderungen

Abfallrechtliche Anforderungen werden nicht gestellt.

H Betreiberpflichten

(1) Betreiber von Feuerungsanlagen mit einer Feuerungswärmeleistung von 50 Megawatt oder mehr haben an der Einleitungsstelle in das Gewässer mindestens die folgenden Messungen im Abwasser durchzuführen:

1. kontinuierliche Messung von pH-Wert, Temperatur und Volumen des Abwasserstroms,

2. monatliche Messung in der qualifizierten Stichprobe oder in der 2-Stunden-Mischprobe

a) sämtlicher in Teil C Absatz 1 und in Teil D genannter Parameter außer G_Ei und

b) der Parameter Chlorid und TN_b sowie

3. Messung des mit den Probenahmen nach Nummer 2 korrespondierenden Volumens des Abwasserstroms.

(2) Es ist ein Jahresbericht nach Anlage 2 Nummer 3 zu erstellen.

(3) Die Messungen der Parameter nach Absatz 1 sind nach den Analyse- und Messverfahren nach Anlage 1 oder nach behördlich anerkannten Überwachungsverfahren durchzuführen. Die landesrechtlichen Vorschriften für die Selbstüberwachung bleiben von den Betreiberpflichten nach den Absätzen 1 und 2 unberührt."

5. Anhang 54 wird wie folgt geändert:

a) Die Überschrift wird wie folgt gefasst:

„Anhang 54 Herstellung von Wafern und Solarzellen".

b) In Teil A Absatz 1 werden die Wörter „Halbleiterbauelementen und Solarzellen" durch die Wörter „Wafern für Halbleiterbauelemente und von Solarzellen" ersetzt.

c) In Teil E Absatz 3 werden die Wörter „aus der Herstellung von Galliumarsenid-Halbleiterbauelementen" gestrichen.